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用射频磁控溅射方法在未进行人为加热的石英玻璃衬底上,生长了良好c轴择优取向的ZnO多晶薄膜。研究了该ZnO薄膜的晶粒大小与其荧光光谱的关系,发现369nm的本征峰和406nm的缺陷峰随着薄膜晶粒的增大晶界应力的增加而出现红移,但469m的缺陷峰峰位却基本保持不变,并对各峰的形成和强度大小的变化规律作出了相应的解释。 相似文献
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退火温度对纳米TiO2薄膜结构和亲水性的影响 总被引:7,自引:1,他引:7
采用射频磁控溅射方法制备出纳米二氧化钛(TiO2)薄膜,研究了不同退火温度对薄膜微观结构和超亲水性的影响.结果表明:退火温度升高,晶粒长大,孔隙率减小;常温制备300 ℃以下退火的TiO2薄膜为无定形结构,亲水性差;400 ℃~650 ℃退火的薄膜为锐钛矿结构,表现出超亲水性;800 ℃退火薄膜为金红石结构,亲水性有所下降. 相似文献
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采用射频磁控溅射方法分别在玻璃、A1片和ITO玻璃上制备出性能优良的TiO2纳米薄膜,研究了薄膜光催化性能.通过XRD、SEM和UV-Vis吸收光谱对薄膜进行表征,研究了不同退火温度和不同衬底对薄膜光催化性能的影响.结果表明:薄膜经500℃退火处理,TiO2由非晶转变为锐钛矿结构,并且退火后薄膜的紫外吸收波长发生红移,光催化降解性能提高;比较玻璃、ITO玻璃和A1为衬底制备的TiO2薄膜,以A1片为衬底的TiO2薄膜,由于形成Schottky势垒,光催化性更好. 相似文献
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Tin oxide (SnO2) thin films are prepared at different temperatures by plasmaenhanced chemical vapor deposition (PECVD). The structural characterizations of the films are investigated by various analysis techniques. X-ray diffraction patterns (XRD) show that the phase of SnO2 films are different at different deposition temperatures. The sheet resistance of the films decreases with increase of deposition temperature. X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) shows that the SnO2 thin film is non-stoichiometric. The sheet resistance increases with increase in oxygen flow. Sb-doped SnO2 thin films are more sensitive to alcohol than carbon monoxide, and its maximum sensitivity is about 220%. 相似文献
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ZnMgS多晶薄膜的结构和光学性质 总被引:1,自引:0,他引:1
本文介绍了对真空蒸发制备的多组ZnxMg1-xS多晶薄膜的研究,用X射线能量色散谱仪(EDS)测定几组ZnxMg1-xS薄膜样品的成分后,由原子力显微镜(AFM)和X射线衍射(XRD)测试结果表明:薄膜晶体生长形貌和结晶性良好,为闪锌矿结构;对ZnxMg1-xS薄膜的紫外吸收分析表明,薄膜在345nm-275nm处形成陡峭的吸收边,在波长小于275nm的紫外区有强烈的吸收;光致发光谱中发光中心波长在可见光区紫光范围约为401nm~395nm之间。同时随着Mg含量的增加。样品的(111)峰位向大角度方向移动,吸收边和发光峰的蓝移也增加。蓝移说明了带隙的展宽。显示了其作为短波光电器件材料和拓展紫外发光器件的研制领域的潜力。 相似文献
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以ZnS、Mg粉末为原料,应用双源真空蒸镀法,在石英玻璃衬底上成功地制备了不同Mg含量x的三元固溶体半导体Zn1-xMgxS薄膜.根据薄膜的X射线能量色散谱、X射线衍射谱和紫外-可见吸收光谱,由Vegard定律得到在实验范围内不同Mg含量x的薄膜晶格常数a与x的关系可表达为a(x)=0.53965-0.01415x(nm);薄膜的光学带隙Eg与x的关系可表达为Eg(x)=0.853x2+0.086x+3.662(eV). 相似文献
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在溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜的过程中掺入Ag,通过XRD、AFM和UV-vis吸收光谱对该薄膜进行了表征。研究了掺Ag对ZnO薄膜光催化降解苯酚性能的影响。结果表明,ZnO薄膜掺入Ag之后,增强了薄膜的光吸收能力,而且使薄膜的紫外线吸收边出现了红移。适量Ag的掺入有利于ZnO薄膜光催化效率的提高。制备薄膜时醋酸锌与AgNO3的摩尔比为30:1的ZnO:Ag样品光催化效果最佳,其3h光催化苯酚降解率是改性前的1.47倍。 相似文献