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等离子体气相沉积非晶SiO2薄膜的特性研究 总被引:6,自引:0,他引:6
用傅立叶红外吸收光谱,电子自旋共振,表面台阶仪等研究了等离子体增强气相沉积法制备的非晶SiO2薄膜的特性与膜厚的关系。当膜厚从0.1μm递增到1.1μm时,1060cm^-1附近的Si-O-Si伸缩振协吸峰从1050cm^-1漂移到1075cm^-1,但是800display status 相似文献
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椰壳制备液体分离用炭膜的研究 总被引:4,自引:1,他引:3
以海南椰壳为原料,经一次炭化、成型、再炭化,制得炭膜。研究了原料椰壳的热解特征,考察了炭膜制备工艺条件对炭膜分离性能的影响,并对炭膜用于细菌分离的过程进行了初步的探索。结果表明:椰壳热解在450℃左右已趋于完全,进一步提高温度有助于炭化物孔结构的改善。炭膜的分离性能与成型压力、粘结剂含量等工艺条件有关。所制炭膜的最大孔径范围为:0.5μm~1.0μm,分离过程属微滤。通过对水中细菌(0.5×1.5μm~1.8μm)分离实验结果表明:炭膜可有效截留细菌,且炭膜本身容易再生利用 相似文献
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金刚石厚膜的制备及应用研究 总被引:4,自引:0,他引:4
用电子增强热灯丝CVD(化学汽相沉积)方法制备出膜厚为0.1-2mm的金刚石厚膜,研究了金刚石厚膜的耐磨性和热导特性,用它制作了金刚石膜焊接刀具和半导体激光器用金刚石膜热沉。 相似文献
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纳米材料的制备技术结合Sol-Gel工艺在(100)单晶硅上制备了粒径在20 ̄80nm的多晶PLT(Pb1-xLaxTiO3)纳米晶膜,并用IR、TGA、XRD、SEM等对膜的制备过程及结果进行了研究。结果表明,所制备的PLT纳米晶膜属多晶钙钛矿结构,薄膜表面平整致密,厚度均匀,约为1u,颗粒为球形或椭球形,粒度呈对称分布。 相似文献
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从无机铝盐出发,采用原位造粒技术,在自制的圆板状α-Al2O3载体表面上成膜,研究了原位造粒成膜的一些影响因素,并与溶胶-凝胶法以乙醇铝制备的载体γ-Al2O3膜进行了孔结构、表面状态和气体渗透性等性能和成膜机理的比较.结果表明:原位造粒法从无机铝盐出发可以制备具有微孔结构无针孔的γ-Al2O3膜.而且,具有如下优良品性:(1)膜的厚度薄而均匀、完好率大,膜厚度可控制在~1μm的水平,比乙醇铝水解溶胶-凝胶法制得的膜厚度~5μm薄得多;(2)具有良好的气体渗透性能,在保持基本相同的分离因子增量的情况下,其渗透率的减少量比乙醇铝水解溶胶-凝胶法的少得多;(3)在载体表面的微孔口原位造粒,粘着性好,不易脱落,而且粒径和孔径的大小可以通过浸渍时间及氨处理来调节等. 相似文献
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ZnO:Al透明导电膜的制备及其性能的研究 总被引:9,自引:0,他引:9
利用脉冲激光法制备了ZnO:Al透明导电膜。通过膜进行霍尔系数测量及SEM、XRD测试分析,详细研究了靶材中的化学配比(掺杂比)对膜的透光率和电阻率的影响。结果表明:掺杂比、氧分压强影响着膜的电学、光学性能和膜的结晶状况。从电学分析看出:掺杂比从0.75%增至1.5%过程中,膜的载流子浓度、透光率(在波长大于500nm的范围)和光隙能相应增大。在氧分压强为0Pa(不充氧)、掺杂比为1.5%左右时沉 相似文献
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离子束辅助沉积(Ti,Al)N梯度薄膜的结合强度 总被引:3,自引:0,他引:3
本文采用离子束辅助沉积技术,制备了不同成分梯度的一系列(Ti1-xAlx)N膜(其中x=0.16~0.44),并利用刮剥式结合强度测量方法,对薄膜成分对结合强度、内应力、硬度等的影响进行了研究。研究工作发现,刮剥法测得的结合强度,在x=~0.31处取得最大结合强度值后,随薄膜成分梯度的增大而下降,但在重要的40%~50%Al区域内,梯度(Ti,Al)N膜的结合强度、硬度以及内应力却都维持在一个较为稳定的水平,较少受薄膜成分等的影响。梯度((Ti,Al)N膜的结合强度主要受膜中残余应力的影响。 相似文献
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采用脉冲电镀和多层镀膜技术制备了约8μm厚的PdAgat.%膜,底衬为φ50的316不锈钢滤片。研究确定了组成单一均匀,结构稳定而且与基体结合牢固的有支撑钯银合金选择渗氢膜的热处理条件。对它的选择渗氢性能进行了考核。350℃时单位面积渗氢速率为商品PdAg25at.%膜的9.1倍。含氦15%的氢经过这种膜纯化后氦含量降为0.03%,研究表明,有支撑钯银合金膜的渗氢性能和纯化效率均能满足我国聚变裂变 相似文献
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超薄γ—Al2O3陶瓷膜的合成——原位造粒成膜法 总被引:1,自引:1,他引:0
从无机铝盐出发,采用原位造粒技术,在自制的圆板状α-Al2O3载体表面上成膜,研究了原位造粒成膜的一些影响因素,并与溶胶-凝胶法以乙醇铝制备的载体γ-Al2O3膜进行了孔结构、表面状态和气体渗性等性能和成膜机理的比较。结果表明:原位造粒法从无机铝盐出发可以制备具有微孔结构无针孔的γ-Al2O3膜。而且,具有如下优良品性:(1)膜的厚度薄而均匀、完好率大,膜厚度可控制在 ̄1μm的水平,比乙醇铝水解交 相似文献
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熔模离心法制备高纯氧化铝基质膜管 总被引:18,自引:4,他引:14
无机膜以其耐高温、耐腐蚀、性能稳定等优点,在化工、食品、医药、环保等领域的应用日益广泛.本文提出了高铝基质膜管的一种新的制备方法熔模离心法.这种方法脱模容易,可以一次获得孔径由大到小逐渐过渡的梯度管.采用这种方法我们已在实验室制得了顶层孔径为0.2μm,通量为158m3·m-2·h-1,显气孔率为58%的梯度管,可以直接作为微滤膜管,也可作为支撑体管,进一步修饰后用于超滤、催化、反应,成为一种新型的催化剂材料和膜反应器 相似文献
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采用新型脉冲磁控溅射技术制备了一系列氯化铬膜,对所制备的不同厚度薄膜进行了AFM和SEM形貌等分析.测定了薄膜的膜基结合强度和硬度,并对薄膜的摩擦学性能进行了研究。结果表明:通过使用铬过渡层可以提高膜基结合强度,镀层厚度对镀层摩擦学性能有影响,膜厚为1200nm的氯化铬膜试样显示出来高硬度、低摩擦系数和良好的抗磨性。 相似文献
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采用旋涂法PMMA微掺杂克服了膜层中的微晶现象,制备了质量较高的尿烷取代聚二乙炔薄膜,膜厚1.2μm,采用8ns脉冲激光测试了其全光开关特性,开关时间分别为10ns和36ns。 相似文献