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曲兰欣 《固体电子学研究与进展》1995,(2)
用In_(0.5)Al_(0.5)P作发射区的新型GaAsHBT近年来,异质结双极晶体管(HBT)在高速电路中的应用已引起广泛重视。据《IEEEEDL》第15卷1期报道.J.M.Kuo等用气源分子束外延(GSMBE)技术首次生长出了In0.5Al0.5... 相似文献
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本文报道了利用低压金属有机物汽相外延(LP-MOVPE)技术,在(001)InP衬底上生长In_(1-x)Ga_xAs体材料及In_(1-x)Ga_xAs/InP量子阶结构材料的结果.对于TMG/TEIn源,In_(1-x)Ga_xAs材料的非故意掺杂载流子依匿为7.2×1016cm-3,最窄光致发光峰值半宽为18.9meV,转靶X光衍射仪对量子阶结构材料测到±2级卫星峰;而对于TMG/TMIn源,非故意掺杂载流于浓度为3.1×10 ̄15cm ̄(-3),最窄光致发光峰值半宽为8.9meV,转靶X光衍射仪对量子阶 相似文献
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续竞存 《固体电子学研究与进展》1996,16(3):254-258
用电荷控制及热电子弹道运动模型计算InAs/InP0.7Sb0.3热电子晶体管的截止频率fT及最高振荡频率fmax。结果表明,fT、fmax分别达到280GHz及600GHz。并指出,通过生长GaSb中间层,InAs/InP0.7Sb0.3HET可在GaAs衬底上实现单片集成。 相似文献
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介绍了通过插入InAs层到InGaAs沟道中,改善了InAlAs/InGaAs高电子迁移率晶体管(HEMT)的性质,合适的InAs层厚度和准确的插入位置会使在300K时此结构的HEMT比普通结构的HEMT的迁移率和电子速度分别提高30%和15%。 相似文献
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借助一新的工艺模拟与异质器件模型用CAD软件──POSES(Poisson-SchroedingerEquationSolver),对以AlGaAs/InGaAs异质结为基础的多种功率PHEMT异质层结构系统(传统、单层与双层平面掺杂)进行了模拟与比较,确定出优化的双平面掺杂AlGaAs/InGaAs功率PHEMT异质结构参数,并结合器件几何结构参数的设定进行器件直流与微波特性的计算,用于指导材料生长与器件制造。采用常规的HEMT工艺进行AlGaAs/InGaAs功率PHEMT的实验研制。对栅长0.8μm、总栅宽1.6mm单胞器件的初步测试结果为:IDss250~450mA/mm;gm0250~320mS/mm;Vp-2.0-2.5V;BVDS5~12V。7GHz下可获得最大1.62W(功率密度1.0W/mm)的功率输出;最大功率附加效率(PAE)达47%。 相似文献
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冷静 《红外与毫米波学报》1994,13(1)
研究在外加电场0~50kV/cm范围内,In0.53Ga0.47As/In0.52Al0.48AS宽量子阱电透射光谱中11h激子跃迁的谱线宽度(FWHM).它可分解为由温度及界面粗糙度引起的非均匀展宽(高斯型)和由外场引起的均匀展宽(劳伦兹型).用线性叠加的近似公式代替高斯和劳伦兹方程的卷积,再与实验光谱拟合.谱线总宽度、高斯展宽成份及线性叠加系数η均作为拟合参数得到,从而可得劳伦兹展宽.将与外场的关系曲线与理论作比较,在数量级上一致. 相似文献
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曲兰欣 《固体电子学研究与进展》1994,(3)
采用缓变In_xGa_(1-x)As沟道的高性能δ掺杂GaAs/In_xGa_(1-x)As PHEMT近来,InxGa;-xAs三元合金已被公认为高电子迁移率晶体管有前途f的沟道材料,因为它的有效质量较小,F一L间隙较大。据((IEE.D.L.)199... 相似文献
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OEIC光接收机研究的湿法选择腐蚀 总被引:1,自引:0,他引:1
试验了用柠檬酸与双氧水系列腐蚀液来实现InAl(Ga)As:InP和InGaAs:InAlAs的选择腐蚀,达到了较好的效果,且工艺重复性好。同一单片上MSM光探测器的光响应度可达到0.5A/W,HEMT器件最大跨导为305mS/mm,最大饱和电流密度为350mA/mm。完成了实现OEIC光接收机的关键一步。 相似文献
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陈兆铮 《固体电子学研究与进展》1999,(4)
据《CompoundSemiconductor》1999年第1期报道,Illinois大学、NotreDame大学、Bell通信研究公司分别报道InP基高性能的E-HEMT。器件在半绝缘InP衬底上用MOVPE生长E-HEMT材料,其结构是:缓冲层为In0.52Al0.48As,沟道为20nm未掺杂的In0.53Ga0.47As,5nm未掺杂的In0.52Al0.48AsIn0.52Al0.48As隔离层,Siδ平面掺杂和12nm未掺杂In0.52Al0.48As肖特基层。器件用隐埋Pt栅制作,… 相似文献
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双平面掺杂AlGaAs/InGaAs功率PHEMT陈效建,刘军,李拂晓,郑雪帆,华培忠(南京电子器件研究所,210016)Double-planar-dopedAlGaAs/InGaAsPowerPHEMT¥ChenXiaojian;LiuJun;L... 相似文献